我国稀贵金属溅射靶材制备已打破国外垄断
发布时间:
2018-12-04
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    据云南省科技厅近日消息,云南省贵金属材料重点实验室研发团队在主任胡昌义带领下,开展电子信息产业用稀贵金属溅射靶材的关键制备技术及工程化应用研究,成功制备镍铂(NiPt)、钴铬铂硼(CoCrPtB)等靶材和钌(Ru)、钴铬铂二氧化硅(CoCrPt-SiO2)靶。研发成果申请专利25件,授权11件,制定行业标准1项,发表论文66篇,荣获2018年中国有色金属工业科技进步一等奖。据预测,未来5年,世界溅射靶材的市场规模将超过160亿美元。此次我国稀贵金属溅射靶材制备问世,国内溅射靶材企业的成长空间被打开。
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